全球直线电机驱动精密定位平台项目产业发展综述(可研报告模板)

第一节 全球直线电机驱动精密定位平台项目 市场发展 及预测

一、全球直线电机驱动精密定位平台项目产业发展现状

近十几年来，超精密加工技术已将加工精度提高了1—2个数量级，能使产品性能向高档升级，极大地提高了产品的可靠性，是生产现代化武器装备和高技术产品必不可少的关键技术，也是衡量一个国家科学技术和武器发展水平的重要标志。各工业发达国家视超精密加工技术为生命线而竞相发展。

二、全球直线电机驱动精密定位平台项目产业发展态势预测

近年来，随着半导体光刻、微型机械、精密测量、超精密加工、微型装配和纳米技术的迅速发展，对精密工作台的需求量不断增加，对工作台部件的精度和运动速度也提出了愈来愈高的要求。未来几年，全球直线电机驱动精密定位平台各个部件的精度和运动速度将越来越高，产品的市场空间也将进一步扩大。

第二节 主要国家地区直线电机驱动精密定位平台项目产业发展及预测

1、日本

最早将直线超声电机用于精密工作平台的国家是日本。1991年， 日本Kazumasa研制了一种利用π型直线超声电机驱动的精密X-Y工作台。该工作台尺寸为208×208×56mm3 ，最大速度为30 mm／s，最大输出力为600 gf。在驱动频率为90 kHz时，位置精度可达 0．01μm。

日本Kyocera公司生产的X—y精密定位装置系列产品于2000年获得第42届年度“十佳最新产品”称号，被认为是在解决新一代超级集成电路所面临的问题上取得的重大突破。由于该产品能提供超精细微处理技术，也为许多高新技术的发展带来了机遇。

这个系列产品主要包括：超低速型和高速型。超低速型的上作速度最低可以达到10nm／s，定位精度达到或超过10nm，位置分辨率为1nm或更高；高速型的运动速度为200mm／s或更高，速度波动小于1％，定位精度在±0．1μm。超低速类型可用于微型机械加工设备、表面 分析 设备和新一代高密度存储器的生产设备，高速型可用于电子束发射器、电子扫描显微镜或探伤设备。

2、德国

德国著名的PI公司在不断推出新型压电陶瓷作动器的同时，还致力于超声电机的研制。PI公司推出的直线超声电机精密工作平台的特点是：曾叠式压电马达驱动；一体化驱动控制器；可承受10G的加速度；自锁特性，无伺服抖动现象；真空工作平台可在10—8hPa的状态下工作；200004～时平均无故障工作时问。传统定位系统由于难以克服摩擦的问题只能达到0.5μm～0.1μm的可重复性，而PI公司的柔性纳米定位系统石达到纳米和亚纳米的分辨率、可重复性和运动平坦度，可用于显微技术、纳米定位、计量科学、医疗 分析 、微操作、半导体制造等相关设备中。

3、美国

美国已开发出了系列直线超声电机驱动的精密工作平台。美国北卡大学的直线定位装置由直线伺服电机实现粗定位，使工作台走到大致位置，然后，由直线超声电机精确定位，使工作台走到指令预先设定的位置。资料显示，这种电机的定位误差不超过50Hm，精度可以相当高。但是，这个定位装置是传统电磁电机与超声电机相结合的产品，并没有完全摆脱传统电机所带来的约束，结构设计上还存在一些限制条件，很难实现小型化，也不能用于磁场强度大的场合。

美国Nanomotion公司的精密压电陶瓷电机采用超声波驻波原理，具有优异的低速平稳性和动态特性。同一台电机可直接驱动直线运动或旋转运动。电机内部无磁场，无运动元件，结构小巧，能提供无限的行程。应用场合主要有半导体和平板设备，一般环境到超真空环境，光纤制造和动力元件，生物医学和制药业，直线平台和旋转平台，精密运动系统（X，Y，0），显微镜，印刷机和绘图仪，精密扫描，真空应用等系统。