第一节 产品定义、性能及应用特点
1、定义
三氯氢硅又称硅氯仿。甲硅烷的三氯代物，化学式SiHCl3。为一种易流动的无色液体；熔点－126.5℃，沸点33℃，密度1.34克／厘米3；能溶于苯、氯仿和二硫化碳。是合成有机硅的重要中间体，同时也是制作多晶硅及单晶硅的主要原料。
2、性能
三氯氢硅在水中发生水解作用，生成聚合的HSiO1.5，其结构像聚硅氧烯（H2SiO）n。三氯氢硅与乙醇反应生成硅酸的酯类和氯化氢：
SiHCl3+3C2H5OH─→SiH（OC2H5）3+3HCl
在有机过氧化物催化下，能与α烯烃起加成反应，例如：
三氯氢硅与丙烯腈作用，发生两种加成反应：
三氯氢硅在金属钠的作用下，会还原成一种聚合的不饱和氢化硅：
xSiHCl3+3xNa─→（SiH）x+3xNaCl
硅氯仿和四氟化锡在封闭管中加热，可得到硅氟仿：
4SiHCl3+3SnF4─→4SiHF3+3SnCl4
三氯氢硅可由氯化氢在350℃时与单质硅反应来制备：
Si+3HCl─→SiHCl3+H2
三氯氢硅易被精镏提纯，是生产纯硅的中间原料。
3、应用：
三氯氢硅不仅是制造硅烷偶联剂和其它有机硅产品的重要中间体，还是制造多晶硅的主要原料。硅烷偶联剂是一种重要的、高科技含量、高附加值的有机硅复合材料，通过硅烷偶联剂可使非交联树脂实现交联固化或改性，因此在玻璃纤维、铸造、轮胎橡胶等 行业 得到了日益广泛的应用。生产三氯氢硅的主要副产品四氯化硅也是制造有机硅的主要原料，它的制成品有硅酸酯、有机硅油、高温绝缘漆、有机硅树脂、硅橡胶和耐热垫衬材料等。高纯的四氯化硅还是制造高纯二氧化硅、无机硅化合物、石英纤维以及光导纤维的重要原料。
第二节 发展历程
1964年5月，上海有色金属 研究 所用固定床氯化炉，铜粉作催化剂，氯化氢和硅粉直接合成三氯氢硅。粗三氯氢硅含量在60%以上，经分馏提纯除去高、低沸点物后，三氯氢硅含量达90%，为降低硅多晶中关键杂质硼的含量，曹国琛等根据三氯氢硅化学特性，在精馏提纯前加入0.05%络合剂，经石英填料塔提纯、氢气还原的硅多晶，区熔提纯，硼检、基硼含量为0.05～0.1PPb，属国内领先，赶上德意志联邦共和国西门子公司产品的水平（该公司宣布基硼含量为0.16PPb）。1965年，该所设计制造硅芯炉，用硅基座法拉制直径6～8毫米、长1000毫米以上的硅芯，供还原用，减少沾污，提高了硅多晶的质量。该设备和拉制方法在全市推广。
1965年底，上海金属加工厂经技术改造，改为硅芯作发热体，还原炉实现自动控制，三氯氢硅氢气还原沉积速度加快到55～60克/小时。
1969年2月，上海有色金属 研究 所的硅材料研制、生产迁往厂址在安徽休宁县的群星材料厂。1972年建成为硅多晶配套的三氯氢硅合成车间。1973年硅多晶车间技术改造。由李广普、诸祥康设计的三极式浮板塔、三氯氢硅回流量电动调节装置同时使用，从根本上解决穿流式筛板塔上液层不稳定，精馏效率不高的问题。实现操作方便性能稳定可靠，每小时处理量达240升，是原设备的3倍，达到处理量大，产品质量提高。1982年在黄山召开的全国硅材料会议上，与会专家一致认为是提纯三氯氢硅的理想设备。硅多晶年生产能力达4000公斤。后因原辅料均从上海运入，成本过高，于1982年1月停产，累计生产22.2吨。
1969年10月，上海冶炼厂以三氯氢硅氢还原钼丝作发热体开始生产硅多晶。1974年技术改造，采用2组精馏塔，每组2塔串联，不锈钢外套，内衬聚四氟乙烯，塔釜用温水加热，采用自动仪表控制、记录，以硅芯代替钼丝，还原炉电极以银质代替不锈钢等。硅多晶生产规模扩大，质量提高，N型电阻率提高到300～500欧姆·厘米，P型电阻率3000～5000欧姆·厘米之间。1976年在郑州召开的全国硅材料会议上得到冶金工业部有色司表扬，并向全国同行推荐。
1969年12月，上海电焊条粉剂厂（现上海电子器件厂）建立硅多晶车间，年生产能力4吨。与上海有色金属
研究
所协作，
研究
影响硅多晶质量因素，用计算机计算杂质在三氯氢硅精馏塔的分布情况和所需的理论塔板数；提纯三氯氢硅用的不锈钢精馏塔改用内衬聚四氟乙烯材料制作，在实际应用中取得较好成绩；还原炉内壁喷涂硅粉，使还原过程在同质环境中进行，硅多晶质量明显提高，合格率达99.57%，一等品率在95%以上；又在还原炉内衬石英罩，减少热量损失，节约能源；在还原炉排出的混合气体中回收氢气，循环利用，均得到全国同行的好评。年生产能力提高到7吨。该厂至1987年停产，共生产硅多晶76吨。
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